EUV-Lithografie: Chinesischer Hersteller zeigt eigenen Laser-Prototyp

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Langdao Silex will aufwendige Laser für chinesische EUV-Lithografie-Systeme herstellen. Die Serienreife ist allerdings noch fern.

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• T2EUV-Lithografie: Chinesischer Hersteller zeigt eigenen Laser-PrototypEurope/UK: Tech.eu / Sifted / TNW / Silicon Republic / UKTN / Computer Weekly / heise / Golem / t3n / Maddyness / FrenchWeb19 Oct, 14:03